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产品与解决方案

涂布核心部件、锂电涂布技术解决方案、泛半导体涂布技术解决方案、氢燃料电池涂布技术解决方案、测量系统解决方案


  • 泛半导体涂布技术解决方案
    曼恩斯特依托在涂布技术领域的多年技术沉淀，助力芯片装备国产化，加速钙钛矿光伏落地及降本；通过平板涂布系统，PVD镀膜等成膜方式，提升制膜设备国产化率，助力钙钛矿太阳能电池从实验室走向大面积产业化生产。
  • 实验室桌面涂布机
    模块化设计，根据客户需求定制
    涂布尺寸330*430mm，可向下兼容
    涂布膜厚范围：150nm-200um(根据药液性质)
    详细介绍
    产品参数
    项目

    规格

    备注

    外形尺寸

    1280*820*2200mm

    -

    内部尺寸

    1200*680*932mm

    能够进入风淋室

    总量

    650kg

    -

    涂布尺寸

    涂布宽度:330mm  涂布尺寸:330*430mm

    可向下兼容

    涂布精度1

    0.3um(总厚度<7μm)

    除边10mm

    涂布精度2

    0.5um(总厚度<7μm)

    除边10mm

    环境要求

    环境温度:23±2℃
    相对湿度:10-70% RH
    外部无尘等级:万级,内部FFU千级


    适用范围

    狭缝式平板涂布技术领域，针对纳米及亚微米级功能性涂层的涂布试验、墨水调试、工艺研究、小规模制样研发等

  • 狭缝涂布系统
    涂布机尺寸：3200*2600*1800mm
    总重：3000Kg
    详细介绍

    产品参数：


    项目

    技术指标

    单位

    备注

    涂布机尺寸

    3200*2600*1800

    mm

    -

    总重

    3000

    Kg

    -

    基板尺寸

    600*1200

    mm

    ±0.8mm

    基板厚度

    3.0～4.0

    mm

    ±0.2mm

    涂布宽幅

    600

    mm

     

    涂布均一性

    ≤5%

     

    干膜400nm～600nm膜厚,10mm除边

    设计节拍

    60

    s

    按600mm涂宽,涂布1200mm长度40mm/s涂布速度

    适配药液粘度

    1～500cp

     

    二甲基甲酰胺、二甲亚砜、氯苯、异丙醇

  • 狭缝涂布系统
    涂布机尺寸：2400*2400*1800mm
    总重：3000Kg
    详细介绍

    产品参数：


    项目

    技术指标

    单位

    备注

    涂布机尺寸

    2400*2400*1800

    mm

    -

    总重

    3000

    Kg

    -

    基板尺寸

    1200*600

    mm

    -

    基板厚度

    2.0～4.0

    mm

    -

    涂布宽幅

    1200

    mm

    -

    涂布均一性

    ≤5%

     

    干膜400nm～600nm膜厚,10mm除边

    设计节拍

    48

    s

    按1200mm涂宽,涂布600mm长度30mm/s涂布速度

    适配药液粘度

    0～50cp

     

    -

  • 狭缝涂布系统
    涂布机尺寸：2400*2400*1800mm
    总重：5000Kg
    详细介绍

    产品参数：


    项目

    技术指标

    单位

    备注

    涂布机尺寸

    2400*2400*1800

    mm

    -

    总重

    5000

    Kg

    -

    基板尺寸

    1200*600*3.2

    mm

    -

    涂布宽幅

    1200

    mm

    -

    涂布均一性

    ≤5%

     

    干膜400nm～600nm膜厚,10mm除边

    设计节拍

    90

    s

    按1200mm涂宽,涂布600mm长度30mm/s涂布速度

    适配药液粘度

    异丙醇体系，1～70cp

     

    异丙醇、DMF、DMSO等有机溶剂或上述有机溶剂的混合溶剂

  • 狭缝涂布系统
    涂布机尺寸：4200*3000*2100mm
    总重：18000Kg
    详细介绍

    产品参数：


    项目

    技术指标

    单位

    备注

    涂布机尺寸

    4200*3000*2100

    mm

    -

    总重

    18000

    Kg

    -

    基板尺寸

    2300*1216*3.2

    mm

    -

    涂布宽幅

    2300

    mm

    -

    涂布均一性

    ≤±5%

     

    干膜400nm～600nm膜厚,10mm除边

    设计节拍

    60

    s

    按1200mm涂宽,涂布600mm长度30mm/s涂布速度

    适配药液粘度

    异丙醇体系，1～70cp

     

    异丙醇、DMF、DMSO等有机溶剂或上述有机溶剂的混合溶剂

  • VCD-真空干燥
    适用于将涂布工程后膜层表面溶液中的溶剂与溶质实现快速分离，从而实现膜层的初步干燥或预结晶。
    详细介绍
    产品参数

    结构模块

    项目

    规格

    Chamber

    材质

    Al+SUS+EPDM

    压降曲线要求

    根据药液特性及客户需求匹配

    真空孔

    阵列式分布

    破真空

    N2或CDA

    真空泵

    品牌

    进口或同等国产品牌

    抽气能力

    根据工艺需求配置

    类型

    干式真空泵

    冷却水

    ≥3.5L/min,根据需求匹配

    Lift

    结构

    磁吸可移动pin,真空波纹管

    Heater

    加热温度

    40-150°℃,均一性5%

    产品特点

    搭载高密封性Chamber

    大抽气量干式真空泵，适配客户抽气要求

    支持快慢抽，满足2s/150pa、10s/10pa的真空抽速

  • 电 话：
    0755-89369630
  • 国内销售热线：
    400-822-5968
  • 涂布模头业务：
    18126242372（吴小姐）
  • 氢能业务联系人：
    18126216371（王先生）
  • 钙钛矿业务联系人：
    18982168115（唐先生）
  • 邮 箱：
    brand@sz-manst.com
  • 地 址：
    深圳市坪山区金牛东路竹坑第三工业区3号
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